德国BOROFLOAT°33是世界上第一个浮法的硼硅酸盐平板玻璃，其卓越的质量和平整度与出色的热学、光学、化学和机械特性完美结合。
石英玻璃晶圆基板 | ||||||
国产牌号 | 熔融石英，国产JGS1、JGS2、JGS3；高硼硅玻璃，国产BF33；长飞石英YS-1330等 | |||||
进口牌号 | 德国肖特BF33，美国康宁7980，日本小原SK-1300等 | |||||
直径 | 25.4mm | 50.8 mm | 100mm | 150mm | 200mm | 300mm |
厚度（超薄厚度） | 150μm/ | 150μm/ | 100μm | 200μm/ | 200μm/ | 300μm/ |
表面粗糙度 | Double Sides Polished, Ra＜ 1.0nm | |||||
定位-平边 | 8mm | 16mm | 30mm | 47.5mm | / | / |
定位-Notch | / | / | / | Semi-Notch | Semi-Notch | Semi-Notch |
表面光洁度 | S/D 60/40, S/D 40/20 | |||||
边缘去除 | ≤ 2mm | |||||
面型 | TTV＜ 2μm | TTV＜ 2μm | TTV＜ 2μm | TTV＜ 2μm | TTV＜ 2μm | TTV＜ 2μm |
德国肖特BF33光学参数 *对色散曲线进行外推得出的值 | ||||||||||||
n248.3* | n296.7 | ni | ng | nf* | ne | nd | n632.8 | nc* | ns | nt | n1529.6 | |
λ | 248.3 | 296.7 | 365 | 435.8 | 480 | 546.1 | 587.6 | 632.8 | 643.8 | 852.1 | 1014 | 1529.6 |
n | 1.525 | 1.504 | 1.489 | 1.48 | 1.477 | 1.473 | 1.471 | 1.47 | 1.47 | 1.465 | 1.463 | 1.456 |
阿贝值(Ve=(ne-1）/（nF,-NC,)) | 65.41 | |||||||||||
折射率（nd) | 1.471 | |||||||||||
色散（nF-nC) | 71.4x10E-4 | |||||||||||
应力光弹系数（K） | 4.0x10E-6 mm2 N-1 | |||||||||||
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