二、特殊晶向蓝宝石衬底产品规格书

材料成分

>99.99%，High Purity， Mono-crystalline Al2O3 (KY)

端面晶向

A-plane (11-20) ± 0.1°

R-plane (1-102) ± 0.1°

M-plane (1-100) ± 0.1°

直径

50.8mm

100mm

150mm

50.8mm

100mm

150mm

50.8mm

100mm

150mm

厚度

430um

650um

1000um

430um

650um

1000um

430um

650um

1000um

定位边晶向

M-plane ± 0.3°

Counter clockwise 45 from C-axis

A-plane ± 0.3°

定位边长度

16mm

30mm

47.5mm

16mm

30mm

47.5mm

16mm

30mm

47.5mm

正面状态

Epi-polished,Ra<0.3nm

反面状态

SSP:Fine-ground,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm

总厚度偏差TTV

<10 um

<20 um

<25 um

<10 um

<20 um

<25 um

<10 um

<20 um

<25 um

弯曲度BOW

-15～0 um

-25～0 um

-35～0 um

-15～0 um

-25～0 um

-35～0 um

-15～0 um

-25～0 um

-35～0 um

翘曲度WARP

<15 um

<30 um

<40 um

<15 um

<30 um

<40 um

<15 um

<25 um

<40 um

边缘去除

≤2 mm

晶体结构

六方晶体

禁带宽度(eV)

/

熔点（℃）

2040℃

莫氏硬度(mohs)

9

热导率(W·cm^-1·℃^-1)

0.46W·cm^-1·℃^-1

热膨胀系数(℃^-1)

6.7*10-6 // C-axis
5.0*10-6 ⊥C-axis

晶格常数(nm)

a=4.76Å c=12.99Å

折射率

1.762~1.777

透过率

测试样品：蓝宝石：直径76.2毫米×厚度4毫米
紫外线：波长200至380纳米，透过率74%至84%
可见光：波长380至760纳米，透过率85%
红外线：波长760至1000纳米，透过率85%
远红外线：波长大于1000纳米，透过率80%至100%