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溅射靶材
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硅靶材-纯金属单质靶材
产品尺寸: 可定制,请咨询客服
抛光情况: 可根据客户要求定制
厚度/导电率: 可根据客户要求定制
包装要求: 专用晶圆盒包装
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产品介绍



硅靶材 单晶硅靶材、多晶硅靶材、喷涂硅管靶 

纯度: 99.9-99.999% 硅靶材

尺寸: 

● 尺寸 01 :直径 360mm 厚度 1mm (形状:圆片 / 圆台 / 圆棒);

 ● 尺寸 02 :长度 600mm 宽度 400mm 厚度 1m


      制作工艺

真空磁悬浮熔炼 ,浇铸成锭,热机械处理和精密机械加工;也可硅旋转靶采用等离子喷涂或者烧结绑定工艺,硅平面靶采用拉晶生长工艺。

应用领域:薄膜太阳能工业,低辐射玻璃工业,平板显示工业,光学镀膜工业,半导体工业,工具及装饰镀膜工业。


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