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溅射靶材
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铌靶材-金属单质靶材
产品尺寸: 异形,可定制
抛光情况: 可根据客户要求定制
厚度/导电率: 可根据客户要求定制
包装要求: 一般包装
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产品介绍


铌靶材

用途:铌及铌合金靶材主要应用于表面工程材料,如船舶、化工、液晶显示器(LCD)以及耐热、耐腐蚀高导电等镀膜行业,薄膜太阳能工业,低辐射玻璃工业,平板显示工业,光学镀膜工业,工具及装饰镀膜工业。
纯度:99.9%,99.95%,99.99%
规格:
方形靶材:长度(200mm~2500mm)x宽度(10mm~1000mm)x厚度(1mm~25mm)
圆靶材:直径Φ(25mm~800mm)x厚度(3mm~28mm)
铌旋转靶采用真空熔炼工艺,可生产最大长度4000mm,厚度根据客户要求定制。
铌平面靶采用真空熔炼工艺,可生产最大长度2500mm,最大宽度400mm,尺寸可根据客户要求加工。
再结晶:95%最少;
表面粗糙度 : Ra 0.4;
晶粒度: 40μm;

铌靶材化学成分表一

牌号主要成份其它杂质  最大%
NbFeSiNiWMoTiTaOCHN
Nb1剩余0.0040.0040.0020.0050.0050.0020.070.0150.00400.00150.003
Nb2剩余0.010.010.0050.020.010.0040.100.020.010.00150.008















铌靶材化学成分表二:

牌号化学成分:PPM,不大于
FeSiMoWTiCrTaNiOCHN(Nb+Ta)%≥
Nb320208010010101000202501001515099.9%
Nb2101050505550010200501010099.95%
Nb155102011100110030105099.99%

 物理性能

标准号抗拉强度,最小最 磅 /英寸2(兆帕)   屈服强度(0.2%的残余变形)最小,磅/英寸2 (兆帕) 伸长率, 最小,%
1英寸(25.4毫米)标距
RO4200-1
RO4210-2
 18000 (125)12000 (85) 25 

 方靶材尺寸、公差(毫米,不大于)

厚度厚度公差宽度宽度公差长度长度公差
一级二级
3~8±0.1±0.250~400±0.250~1800±0.2
8~14±0.1±0.250~350±0.250~1500±0.2
≥14±0.1±0.250~300±0.250~1200±0.2

 圆靶材尺寸、公差(毫米,不大于)

厚度厚度公差直径直径公差
一级二级
3~8±0.1±0.250~450±0.2
8~14±0.1±0.250~450±0.2
≥14±0.1±0.250~400±0.2


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