
铌靶材
用途:铌及铌合金靶材主要应用于表面工程材料,如船舶、化工、液晶显示器(LCD)以及耐热、耐腐蚀高导电等镀膜行业,薄膜太阳能工业,低辐射玻璃工业,平板显示工业,光学镀膜工业,工具及装饰镀膜工业。
纯度:99.9%,99.95%,99.99%
规格:
方形靶材:长度(200mm~2500mm)x宽度(10mm~1000mm)x厚度(1mm~25mm)
圆靶材:直径Φ(25mm~800mm)x厚度(3mm~28mm)
铌旋转靶采用真空熔炼工艺,可生产最大长度4000mm,厚度根据客户要求定制。
铌平面靶采用真空熔炼工艺,可生产最大长度2500mm,最大宽度400mm,尺寸可根据客户要求加工。
再结晶:95%最少;
表面粗糙度 : Ra 0.4;
晶粒度: 40μm;
铌靶材化学成分表一:
| 牌号 | 主要成份 | 其它杂质 最大% | |||||||||||
| Nb | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | Ta | O | C | H | N | ||
| Nb1 | 剩余 | 0.004 | 0.004 | 0.002 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 0.07 | 0.015 | 0.0040 | 0.0015 | 0.003 | |
| Nb2 | 剩余 | 0.01 | 0.01 | 0.005 | 0.02 | 0.01 | 0.004 | 0.10 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.008 | |
铌靶材化学成分表二:
| 牌号 | 化学成分:PPM,不大于 | ||||||||||||
| Fe | Si | Mo | W | Ti | Cr | Ta | Ni | O | C | H | N | (Nb+Ta)%≥ | |
| Nb3 | 20 | 20 | 80 | 100 | 10 | 10 | 1000 | 20 | 250 | 100 | 15 | 150 | 99.9% |
| Nb2 | 10 | 10 | 50 | 50 | 5 | 5 | 500 | 10 | 200 | 50 | 10 | 100 | 99.95% |
| Nb1 | 5 | 5 | 10 | 20 | 1 | 1 | 100 | 1 | 100 | 30 | 10 | 50 | 99.99% |
物理性能:
| 标准号 | 抗拉强度,最小最 磅 /英寸2(兆帕) | 屈服强度(0.2%的残余变形)最小,磅/英寸2 (兆帕) | 伸长率, 最小,% 1英寸(25.4毫米)标距 |
| RO4200-1 RO4210-2 | 18000 (125) | 12000 (85) | 25 |
方靶材尺寸、公差(毫米,不大于)
| 厚度 | 厚度公差 | 宽度 | 宽度公差 | 长度 | 长度公差 | |
| 一级 | 二级 | |||||
| 3~8 | ±0.1 | ±0.2 | 50~400 | ±0.2 | 50~1800 | ±0.2 |
| 8~14 | ±0.1 | ±0.2 | 50~350 | ±0.2 | 50~1500 | ±0.2 |
| ≥14 | ±0.1 | ±0.2 | 50~300 | ±0.2 | 50~1200 | ±0.2 |
圆靶材尺寸、公差(毫米,不大于)
| 厚度 | 厚度公差 | 直径 | 直径公差 | |
| 一级 | 二级 | |||
| 3~8 | ±0.1 | ±0.2 | 50~450 | ±0.2 |
| 8~14 | ±0.1 | ±0.2 | 50~450 | ±0.2 |
| ≥14 | ±0.1 | ±0.2 | 50~400 | ±0.2 |