多晶硅通过直拉法CZ或者区熔法FZ长晶得到的棒状单晶硅材料。一般的硅棒均指单晶硅棒，如果是多晶结构的“硅棒”，我们一般称之为多晶硅碇。单晶硅棒按直接大小可以分成2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸和18英寸，目前市场主流是8英寸和12英寸。单晶硅棒是生产硅片的原材料，其质量好坏，缺陷多少直接影响到硅片的质量。硅片碳含量和氧含量的高低、电阻率均匀性的好坏，以及内部缺陷的多少都是有硅棒长晶的时候决定的。
因此长晶技术是半导体材料的关键核心技术之一， 12英寸以上的长晶技术，只有少数大公司掌握，中国还是追赶阶段。
| Diameter | 2" | 3" | 4" | 6" | 8" | 12" |
| Grade | Prime | |||||
| Growth Method | CZ | FZ | ||||
| Orientation | < 1-0-0 > , < 1-1-1 > , < 1-1-0 > | |||||
| Type/Dopant | P Type/Boron , N Type/Phos, N Type/As, N Type/Sb，Intrinsic/Undoped | |||||
| Oxygen Content | 8-18 ppma | |||||
| Carbon Content | ||||||
| Resistivity | 0.002 - 20,000 ohm-cm | |||||
| Life Time | >50us | >1000us | ||||
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